Evactronの各機種

SEM　FIB/SEM　TEM

2008年にリリースされて以来10年以上に渡って活躍しているこれらの機種を、現在我々は「Classic Evactron」と呼んでいます。

活性酸素発生部分にピラニーゲージを配して、リアルタイムで真空度を測定しながらプラズマの点灯、クリーングを行うフィードバックループを持つもので、約55Pa付近という低真空で使用するための機種となります。

試料の予備排気室に取り付けて試料のクリーニングを行う場合や粗引きポンプに接続したSoftCleanチャンバーと組み合わせる場合等に適しています。

SEM　FIB/SEM　TEM

Zephyrタイプに進化したEvactronはターボ分子ポンプの真空領域入る数Paのあたりでのクリーニングが可能になります。20SCCMのマスフローメーターを持つZephyrタイプは、ターボ分子ポンプで真空排気されるSEMやFIB/SEMのメインチャンバーと組み合わせて使用することができ、「Classic Evactron」に比べて約10倍のクリーニングレートを発揮します。

SEM　FIB/SEM　TEM

新世代のEvactronは小型化された活性酸素発生部分によりSEMの試料交換室との相性が非常に良い設計になっており、SEMに装着されている検出器や配管・ケーブル等との干渉を最小限におさえることができ、E50と共通のE-TCコントローラーによりクリーング条件を制御します。

RF出力は16Wに抑えられているため、活性酸素発生源と試料の距離が近い場合でも、試料ダメージを起こすことなく安全にクリーニングが実施できます。

SEM　FIB/SEM　TEM

進化したEvactron E50は最大50WのRF出力と、プラズマ発生電極をセラミックで覆う構造にグレードアップされました。

RF出力が大きくなったために更にクリーニングレートが上がり、かつ、プラズマ発生電極を覆って真空外に出したために大出力の際に起こり得た、電極自身の材料がスパッタリングされて試料の方に飛んでしまう現象も起こりません。

クリーニング条件の制御はE-TCコントローラーのタッチパネルで行い、工場出荷時にデフォルト設定された条件以外にもユーザー独自のレシピを保存して使用できます。

更にE50には、超高真空タイプの装置向けにCFフランジを備えたタイプ、また、外部からの各種のガスを接続して使用する場合を想定したオプションも設定されています。

SEM　FIB/SEM　TEM

Evactronは電子顕微鏡やその他の真空チャンバーに取り付けて、チャンバー内に存在するハイドロカーボン成分を除去しますが、実は試料室に存在するハイドロカーボンの多くは試料や試料台と共に試料室に持ち込まれているケースがほとんどです。試料、試料台そのものの汚れや洗浄残渣のハイドロカーボン成分が少しずつ試料室に蓄積されていきます。

Soft Cleanは試料/試料台/試料ホルダーのクリーニング用チャンバーで、各種Evactronと組み合わせて使用します。TEMホルダークリーニング用オプションを加えることでバルク試料だけでなくTEMホルダー＋TEM試料のクリーニングも可能です。従来型であるICP方式の高出力プラズマクリーナーのように物理的なスパッタリングを起こさないため、デリケートな試料にも対応できるようになります。

又、超高真空装置向けの試料のベーキング時間の短縮や、真空チャンバー内で使われる部品のクリーニング等幅広い用途で使用されています。