Evactron活用法
バルク試料をSEMやFIBで観察したり、表面分析装置で解析する場合とは異なり、原子分解能や1原子層の解析を行なう必要のあるTEM/STEMの場合には、極めて僅かなコンタミ源に対してもその影響は出やすく、汚染されている箇所を的確にクリーニングする必要があります。
ステップ1 ： 試料＋試料ホルダーのクリーニング
XEI SoftCleanチャンバー＋TEMホルダークリーニング用アタッチメント
TEMホルダークリーニング用アタッチメントを加えたSoftCleanにEvactron-CもしくはEvactron-25/45を組み合わせ、試料を装着した状態のTEMホルダーを挿入して、TEMホルダー＋試料のクリーニングを実施する日々のケアーにより、TEM/STEMへのコンタミの持込を防いで、装置のコンディションを高いレベルで維持します。 更に、メンテナンス時に鏡筒内に組み込む交換部品も、電子顕微鏡メーカーのフィールドサービスマンが事前にSoftCleanでクリーニングすることで、より一層の対策が可能です。
ステップ2 ： TEMホルダーの真空保管＋Evactron
TEMホルダーの真空状態での保管も、日々のケアーとして欠かせません。ホルダーを保管する真空排気装置にEvactronを組み合わせて定期的にクリーニングすることにより、信頼性・安定性を高めます。もちろん、SoftCleanチャンバーにTEMホルダーを保管することも可能です。