
TEM Wand |
|||||
|
|||||
|
SEMやFIB./SEMのような大型の試料室とは異なり、TEMの場合は極端に真空排気されている体積の小さい装置の場合は、真空中にハイドロカーボンが放出された場合の影響が小さくありません。酸化に対して非常に敏感な試料やポリマー系の試料は、事前にプラズマクリーニングを行なうことが困難で、真空中にガスが放出されるのを覚悟しながら試料を観察・分析せざるを得ない場合があります。 |
|||||
|
このようにやむを得ない作業を行なった後に清浄な試料の観察・分析を行なわなくてはならない場合に、ハイドロカーボンの影響が出てしまう場合が少なくありません。 |
|||||
|
試料室周辺にガスを導入しながら観察を行なうアプリケーションや、ヒーティングホルダーを使用した作業の後のリカバリーの効率を上げることで、より一層装置の有効活用が可能になります。 |
|||||