テクノラボ │ 電子顕微鏡周辺機器のサービスカンパニー
Soft Clean Chamber |
|||||
|
|||||
| Evactronは電子顕微鏡やその他の真空チャンバーに取り付けて、チャンバー内に存在するハイドロカーボン成分を除去しますが、実は試料室に存在するハイドロカーボンの多くは試料や試料台と共に試料室に持ち込まれているケースがほとんどです。試料、試料台そのものの汚れや洗浄残渣のハイドロカーボン成分が少しずつ試料室に蓄積されていきます。 | |||||
| Soft Cleanは試料/試料台/試料ホルダーのクリーニング用チャンバーで、Evactron-CやEvactron25/45と組み合わせて使用します。TEMホルダークリーニング用オプションを加えることでバルク試料だけでなくTEMホルダー＋TEM試料のクリーニングも可能です。従来型であるICP方式の高出力プラズマクリーナーのように物理的なスパッタリングを起こさないため、デリケートな試料にも対応できるようになります。 | |||||
| 又、超高真空装置向けの試料のベーキング時間の短縮や、真空チャンバー内で使われる部品のクリーニング等幅広い用途で使用されています。 | |||||
