テクノラボ │ 電子顕微鏡周辺機器のサービスカンパニー
| バルク試料をSEMやFIBで観察したり、表面分析装置で解析する場合とは異なり、原子分解能や1原子層の解析を行なう必要のあるTEM/STEMの場合には、極めて僅かなコンタミ源に対してもその影響は出やすく、汚染されている箇所を的確にクリーニングする必要があります。 |
ステップ1 ： 試料＋試料ホルダーのクリーニング |
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| XEI SoftCleanチャンバー＋TEMホルダークリーニング用アタッチメント |
| TEMホルダークリーニング用アタッチメントを加えたSoftCleanにEvactron-CもしくはEvactron-25/45を組み合わせ、試料を装着した状態のTEMホルダーを挿入して、TEMホルダー＋試料のクリーニングを実施する日々のケアーにより、TEM/STEMへのコンタミの持込を防いで、装置のコンディションを高いレベルで維持します。 更に、メンテナンス時に鏡筒内に組み込む交換部品も、電子顕微鏡メーカーのフィールドサービスマンが事前にSoftCleanでクリーニングすることで、より一層の対策が可能です。 |
ステップ2 ： TEMホルダーの真空保管＋Evactron |
| TEMホルダーの真空状態での保管も、日々のケアーとして欠かせません。ホルダーを保管する真空排気装置にEvactronを組み合わせて定期的にクリーニングすることにより、信頼性・安定性を高めます。もちろん、SoftCleanチャンバーにTEMホルダーを保管することも可能です。 |
ステップ3 ： 予備排気室、ポールピース周辺のクリーニング |
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| TEM Wand + Evactron-C |
| TEMの中で唯一大気と接している箇所が予備排気室であるため、ハイドロカーボンが蓄積されている可能性が考えられます。この僅かな空間はTEM Wandを使ってクリーニングします。TEM WandはTEMホルダーと同じ形状をした筒の先端にHollow Cathode（プラズマ電極）を配して、クリーニングの対象となる場所の近傍でプラズマを発生させることができるようにした新しいデバイスです。 一方、TEMユーザーのもう一つの悩みは、観察・分析中にガスが発生する試料も取り扱わなければならない場合がある、ということです。せっかく日々のケアーにより、コンタミに対して高いコンディションを保っている場合でも、ガスが発生する試料を観察・分析した後にはコンディションの低下が起こる場合があります。 このような場合には、TEM Wandを使ってポールピース周辺もクリーニングが可能です。 間もなくJEOL用、日立用のTEM Wandがリリースされる予定で、Evactron-Cコントローラーもしくは、Evactron-25コントローラーと組み合わせられます。 |
ステップ4 ： CombiCleanシステム |
| CombiCleanは様々な拡張性を備えたシステムです。SoftCleanと同サイズの200mmφのチャンバーには2つのプラズマ源を切り替えて使用できるEvactron-25が組み込まれており、これにTEM Wandを組み合わせることにより、チャンバーではTEMホルダー＋試料を、そしてTEM Wandで予備排気室や鏡筒内部をクリーニングすることも可能になります。 |
