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Evactron 電子顕微鏡用 De-Contaminator
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電子顕微鏡による観察で起こる「コンタミネーション」による障害とは？
SEMやTEM/STEM装置を使って観察や分析を行う際には「コンタミネーション（＝汚染）」による障害がしばしば報告されています。このコンタミネーションによる汚染は、・・・・ |
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TEM Wand
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| SEMやFIB./SEMのような大型の試料室とは異なり、TEMの場合は極端に真空排気されている体積の小さい装置の場合は、真空中にハイドロカーボンが放出された場合の影響が小さくありません。酸化に対して・・・・ |
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Soft Clean
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| Evactronは電子顕微鏡やその他の真空チャンバーに取り付けて、チャンバー内に存在するハイドロカーボン成分を除去しますが、実は試料室に存在するハイドロカーボンの多くは試料や試料台と共に試料室に持ち込まれているケースがほとんどです。試料、・・・・ |
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Combi Clean
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| Combi Cleanは筐体内にEvactron-25とSoft Cleanチャンバーを内蔵し、更にもう一つのEvactron-25用の活性酸素発生部との接続インターフェイスを備えています。これにより内蔵されているチャンバーに接続されている活性酸・・ |
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