Autoprobe200/300用ローテーションオプション

FIB/SEMでのTEM試料作製において、フリップチップや上層に柔かい元素が存在する場合の下層を注目する際等は、バックサイドからの最終加工が必要になってくる場合が少なくありません。
Autoprobe200/300システムは、標準状態ではローテーション軸にはモーターは付属していませんが、オプションでR軸にモーターを追加することによって、シャフトを回転させて、リフトアウト後に試料の上下を反転させることができます。

Autoprobe300とAutoprobe200ではアップグレードの方法が異なりますので下記の表をご確認下さい。
 
機種名 アップグレード部分 ソフトウェア
Autoprobe300 R軸モーター追加及びトライポッド部分の交換 Ver4.0.1以降にアップグレード
Autoprobe200（前期）
SCSI接続モデル		 ・ SCSI接続⇒Ethernet接続への交換
・ R軸モーター追加及びトライポッド部分の交換
・ EthernetアダプターもしくはHUBの追加（必要な場合のみ）
(FIBメーカーのフィールドサービスによる作業も必要となります)		 Ver4.0.1以降にアップグレード
Autoprobe200（現行）
Ethernet接続モデル		 R軸モーター追加及びトライポッド部分の交換 Ver4.0.1以降にアップグレード
 
 
 
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