HOME > テクノラボ取扱製品一覧 > Omniprobe 社製 > OmniGIS マルチガスインジェクション

製品情報

OmniGIS マルチガスインジェクション
OmniGIS マルチガスインジェクション
SEMFIB/SEM
 

Actibookで製品を見る

スマホ・タブレットでご覧の方はコチラ
 
OmniGISはマルチソースのプログラマブル・ガスインジェクションシステムで、FIB/SEMだけでなくSEMに組み合わせてさまざまなアプリケーションで利用されます。
3種のガス種を搭載することができ、これらのガスに対してコンピュータによりフローレートの制御を行います。
更に2種類の不活性ガスを接続し、キャリアガスとして使用したり、特殊用途に使用したりもできます。
 
 
製品の特長
3種類のマテリアルを同時装着できるため、チャンバースペースをより有効に活用できます。
 
アプリケーションに合わせて、同一ガス種でも異なる構造を持つまていらるが使用できます。
 
アプリケーションに合わせて、画像を見ながらノズル位置を微調整して、最適なノズル位置を決定できます。
 
ガスフローを時間軸上にプログラミングすることで、複雑なパターニングが可能です。
  • プログラマブルガスフロー
    プログラマブルガスフロー
  • コントロール画面
    コントロール画面
 
 

Omniprobe, Inc. Webサイト
 
 
 
PAGETOP