HOME > テクノラボ取扱製品一覧 > Omniprobe 社製 > AutoProbe300　FIB/SEM用TEM試料作成ツール

製品情報

AutoProbe300　FIB/SEM用TEM試料作成ツール
SC22 AC磁場キャンセリングシステム
FIB/SEM
 

Actibookで製品を見る

スマホ・タブレットでご覧の方はコチラ
 
AutoProbe300はこれまでに実績のある100.7システム、AutoProbe200システムを更に発展させ、OmniProbe独自のShort-Cutツールを使用することで、更にスループットを向上させた新時代のTEM試料作成ツールです。
 
 

TEM試料作成の流れ
1. FIB/SEMで厚さ2μm程度で完全に切り離したウェッジ型の試料を作成します。
2. AP300のプローブにデポジションで固定します。
3. AP300のプローブをカセットに戻します。
4. カセットをFIB/SEMからShort-Cutツールに移動させ、クーポンに圧着します。
5. クーポンを切り離し、再びFIB/SEMで最終加工を行ないます。
 
  • ウェッジ型のTEM試料
    ウェッジ型のTEM試料
  • 圧着されたプローブ（左）、Wプローブ（右）
    圧着されたプローブ（左）、Wプローブ（右）
  • ショートカットツール
    ショートカットツール
 
製品の特長
PC制御でプローブをコントロールするため、FIB/SEM画面上のX-Y-Zの動きとプローブの動きが完全に一致します。   カセットへのプローブの着脱は、ウィザード形式のソフトウェアによりステップ毎に行なわれます。
     
ウェッジ型の試料の状態でリフトアウトするため短時間の粗加工でリフトアウト可能です。   TEM試料はプローブ（W製）に接着されているため、ダメージ除去に用いられる低加速Arミリング装置での最終仕上げの際に、Cu製のグリッドのリデポジションの影響を受けません。
     
Short-Cutシステムは2重のインターロック機構でユーザーの安全を図っています。   クーポンはフロントサイドミリング用、バックサイドミリング用の2種類があります。
     
シャフトローテーションがオプション設定されています。    
 
 

Omniprobe, Inc. Webサイト
 
 
 
PAGETOP