SEM試料室用X線管球
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| 本製品は既存のSEM+EDXシステムにX線管球を追加して、蛍光X線装置として分析作業を行うことができるものです。 |
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| SEM+EDXシステムの場合、電子線によってX線スペクトルを励起するため、高い強度の連続X線の発生が避けられず、微量成分の検出は困難ですが、同じ検出システムでX線励起にすることで、ppmオーダーの微量成分の検出が可能になります。 |
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製品の特長
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| 既存のSEM+EDX装置をそのまま利用するため、最低限の投資でシステムアップが可能です。 |
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既存のEDXをそのまま使用するため、新たな操作を習得する必要がありません。 |
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| 欲しいX線の照射面積に合わせてコリメーター/ポリキャピラリーを備える機種を選択できます。 |
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照射エリアの中心はSEM像で決定できます。 |
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| L,M線も容易に励起できるため、SEM+EDXに比べて重複ピーク分離能力に優れています。 |
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チャージを起こさないため絶縁物の分析が容易です。 |
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主な仕様
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| 項目 |
fx-SEM |
X-Beam |
| アノードタイプ |
エンドウィンドウ型 |
サイドウィンドウ型 |
| ターゲット材料 |
Ag, Mo, W |
Mo(標準)、その他選択可能 |
| 励起電圧 |
10〜35kV |
10〜50kV |
| ビーム電流 |
0〜100uA |
0〜0.1mA |
| アノードスポットサイズ |
500um以下 |
25〜45um以下 |
| スポットサイズ |
300um(その他も選択可能) |
40um |
| ソースフィルター |
オプション装着可能 |
| 冷却方式 |
空冷 |
| 寿命 |
2000時間以上 |
| 制御 |
- X線On/Off |
| - kV/mAの連続コントロール |
| セーフィティー機構 |
- SEMとのインターロック |
| - HVランプ |
| - X線Onランプ |
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